白光干涉仪_三维表面形貌检测仪 | 光学干涉测量设备厂家

白光干涉仪

型号：PR B(Z)100、PR B(Z)50、PR B(Z)10、PR B(Z)05、PR B(Z)01

简介：WLI(Z)50/10/05/01系列白光干涉三维形貌仪是采用自主研发的白光干涉扫描技术研制的纳米量级形貌测量仪器, 透过精密的扫描系统和自主专利的解析算法,进行样品表面微细形貌的量测与分析。表面显微成像能力与高精度测量的完美结合, 只需数秒钟,就能观测到表面的三维轮廓、台阶高度、表面纹理、微观尺寸以及包含各类参数的测量结果。

系统采用气浮式隔振模块、坚固的花岗岩和钢结构支撑,具有出色的稳定性。测量过程简便而快速, 只需把被测物体放置到载物台, 聚焦出干涉条纹, 按下测量按钮即可开始整个测量过程。

标准配置采用五轴手动调整载物平台, 可依据不同测试要求做弹性调整,并可选配电动载物平台, 以实现自动定位、自动聚焦、自动缝合之大面积高精度的量测要求, 样品均不需前处理即可进行非破坏、高精度、快速的表面形貌测量和分析。